HRG中山基地開啟金剛石單晶及制品裝備研發

中新網廣東新聞9月13日電 (李映民 劉勁松)“大尺寸高品質金剛石單晶材料生產裝備及工藝技術研發和產業化”項目11日在哈工大機器人集團(HRG)中山雙創基地正式啟動。

金剛石單晶及制品是超精密加工、智能電網等國家重大戰略實施及智能制造、5G通訊等產業群升級的重要材料基礎，這一技術的突破與產業化對于中國智能制造、大數據產業自主安全具有重大意義。

該項目于今年6月成功獲批廣東省重點領域研發計劃-第三代半導體材料與器件專項，由哈工大機器人(中山)無人裝備與人工智能研究院(以下簡稱“HRG中山研究院”)負責總體統籌及規劃。

據了解，HRG中山研究院作為該項目牽頭單位，將聯合哈爾濱工業大學、哈爾濱工業大學深圳校區、中電55所、南京中電芯谷開展單晶金剛石及其器件的研究，在大尺寸單晶生長工藝、高精度微細加工、高效淺能級摻雜和器件集成化等方面重點布局，實現從原理探索到關鍵技術攻關的突破并進行產業技術儲備，為我國在半導體技術領域實現彎道超車，搶占未來產業的制高點以及支撐國家發展戰略的實施提供支撐。

HRG中山雙創基地背靠粵港澳大灣區經濟發展前沿優勢，依托HRG中山研究院，圍繞無人裝備、人工智能、生物醫藥健康產業方向，引進高端人才、技術、項目；依托精密儀器與測量、智能感知、機器視覺與圖像處理等機器人領域關鍵共性技術，打造創新科技成果轉化基地。(完)